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反射防止膜の成膜状態は、太陽電池の発電性能を大きく左右するため、成膜プロセス中のセルの温度測定ニーズは高いものの、真空チャンバー内のワークの測定は熱電対を炉外に引き延ばすことが困難であると同時に、プラズマによるノイズの影響により、概して太陽電池用温度測定は困難でした。
SolarPaqシステムはこれらの問題を解決し、これまでは手探り状態だった成膜プロセス中のセルの温度データの入手を実現しました。
本システムは125mmまたは156mmのセルサイズを想定しデザインされており、搬送用キャリアにそのまま搭載することが可能です。
(注意:装置によってはノイズの影響を受ける場合もございます。)
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