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半導体等の表面洗浄、製膜など表面処理、親水化など表面改質や半導体プロセスのエッチング、アッシング等の用途に最適な大気圧プラズマ/低圧プラズマ洗浄装置です。
大型のプラズマ処置装置は既に導入済みでも、使いたいときに使えないような場合に最適な小型の装置です。
研究開発、試作、少量の生産から量産まで幅広く対応します。
ドイツDiener （ディエナー）Electronic社は1993年に設立され、研究開発・少量処理用の小型モデルを始め、大型処理機まで幅広くプラズマ洗浄装置を取り扱っており、既に国内でも半導体、自動車関連アプリケーションを始め、様々な業界にて納入実績がございます。
局所的な処理が可能な大気圧プラズマタイプと、ワーク全体（表面）の処理が可能な低圧プラズマ（チャンバー）タイプの2つのモデルをご用意しています。チャンバー容量は、研究開発向けの小型チャンバー（2リットル）から、量産向けの大型チャンバーモデル、リール・トゥ・リールタイプ等も製造しております。
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