マイクロ・ナノマニュピレーター　ミクロ・ナノサイズのサンプル作成に最適

マイクロ・ナノマニュピレーターのご案内

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	miBot BT-10 ミクロ・ナノサイズのサンプル作成に最適なマイクロ・ナノマニュピレーター

スイス連邦工科大学で10年以上かけた高精度ロボット開発技術を元に2009年に設立されたのが、Imina Technologiesです。
miBot BT-10は、世界最小クラス、ナノメーター分解能のマイクロ・ナノマニュピレーターです。

マイクロ・ナノマニュピレーターとは、人の手に代わりに、ミクロン、ナノサイズの世界で、作業を行なうロボットのことです。
電子顕微鏡で観察しながら、ミクロ・ナノサイズのサンプルを作製し、そのサンプルを数センチ以上離れた場所へ移送することもできます。また、マイクロツールを付け替えることで、半導体の電気特性テスターとして活用でき、単細胞を扱う医療バイオ業界でも実用可能です。

ご使用になりたいアプリケーションがありましたら、お気軽にご相談ください。

＜特長＞

ピエゾアクチュエーターの採用と、独自の発想が、これまで誰も考えなかった性能を可能にしました。

	4方向(X・Y・Z・θ)稼動可能超コンパクトデザインナノメーターレンジでの位置精度センチメートル単位での移動距離 SEM・FIB対応(大気・真空共に可) 電気プローブ対応 SEM・TEMに設置可能(真空対応)

＜マニュピレーター技術仕様＞

移動可能領域	4方向
大きさ	20mm×20mm×12.5mm (アームの長さ　10mm　/　可動角度　0～90度)
重量	12ｇ　(マイクロツール重量を除きます)
移動速度	2mm/sec　(ステッピングモード)
位置決め精度	40nm ～ 380nm　(ステッピングモード) 10nm (スキャンモード)
加重	水平方向　12ｇ未満(静止状態)　　9ｇ未満(移動状態) 垂直方向　3ｇ未満(静止状態)　　　1.5ｇ未満(移動状態)
真空	10^-6mbar未満
電気プローブ	電圧　±100V シグナル抵抗　typ．3.5Ω リーク電流(20VDC)　5pA

＜マイクロツール＞

1　テストプローブチップ(μmθ)　　2　STMチップ(nmθ)　　3　AFMプローブ
4　加重センサー(μN～mN)　　5　光ファイバー

＜関連ワード＞

	STM: Scanning Tunneling Microscope	走査型トンネル顕微鏡
	AFM: Atomic Force Microscope	原子間力顕微鏡
	SEM: Scanning Electron Microscope	走査型電子顕微鏡
	TEM: Scanning Electron Microscope	透過型電子顕微鏡
	FIB: FOCUSED ION BEAM	集束イオンビーム

＜アプリケーション例＞

ナノワイヤーサンプリング
LED動作テスト
MEMS動作テスト
デバイス特性テスト
単細胞の操作

こちらのURLから動画を確認できます。
http://imina.ch/applications

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TEL:03-3492-7422／FAX:03-3492-2580

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