光ファイバー式温度計 OptoTemp2000のご案内

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高周波、高電圧環境下での困難な温度測定に!
光ファイバー式温度計 OptoTemp2000

MicroMaterials

MicroMaterials社製「光ファイバー式温度計 OptoTemp 2000」は、マイクロ波/高周波/プラズマなどの過酷な環境においても光ファイバーの特性(蛍光体の強度減衰時間-温度の相関)を活かし、高精度な温度測定が可能です。
また、測定ニーズに応じて、3タイプのプローブから選択が可能で、950℃の超高温測定にも対応しております。


光ファイバー式温度計 OptoTemp2000本体

図1 光ファイバー式温度計OptoTemp2000本体

<特長>

  • EMI(電磁妨害/干渉)、RF、マイクロ波の影響を受けない
  • 950℃の超高温測定に対応
  • 高精度測定を実現
  • ULTRAプローブは、1体構造である単結晶構造により、
    半永久的に使用が可能
  • 専用ソフトウエアで温度トレンドの確認が容易
  • 低価格


<アプリケーション>

マイクロ波/RF加熱分野 木材、セラミック、プラスチックなどの加熱/乾燥の温度測定/モニター
半導体分野 CVD工程、化合物半導体エピタキシャル成長などの各プロセスでの温度測定
高電圧分野 高電圧環境(発電所、発電設備)における温度測定
その他 食品、医療、環境などの分野における温度測定/モニター

<OptoTemp2000基本構成>

光ファイバー式温度計 OptoTemp2000 システム1式

図2 光ファイバー式温度計 OptoTemp2000 システム1式

測定画像(付属ソフト)

図3 測定画像(付属ソフト)

基本構成:

  1. プローブ
  2. 光ファイバーパッチコード
  3. 光ファイバーマッチングスリーブ
  4. OptoTemp2000 コントローラ
  5. 電源アダプタ
  6. 専用ソフトウエア
  7. PC接続ケーブル(RS-232)


<光ファイバー式温度計 測定原理>

測定原理フロー

図4 測定原理フロー

光ファイバー式温度計 OptoTemp2000は、蛍光体の強度(輝度)が温度に応じて変化するのを利用し、
温度測定しております。
 ①LED光は、45度の傾斜ミラーを経由し入射します。
 ②光はレンズで集束され、光ファイバーのパッチコード内を通ります。
 ③・④光は、プローブの先端に達し、蛍光体に光を発します。
 ⑤・⑥蛍光の減衰は光センサで計測されます。
 蛍光の減衰時間は、温度と相関性があり、温度換算され算出されます。



<専用プローブ>

専用プローブ

図5 専用プローブ

表1 専用プローブ仕様

型式 FLEX SUPER ULTRA
温度測定範囲 10~230℃ 10~400℃ 200~950℃
コネクタタイプ ST ST SMA
直径 2mm 3mm 3mm ※1
ブローブ長 15cm ※2 15cm ※2 15cm ※2
外皮 PFA ceramic ceramic
精度 +/-0.5℃ +/-1.0℃ +/-2.0℃
確度
(8サンプル繰返し測定時)
+/-0.5℃ +/-0.5℃ +/-1.0℃

※1 先端0.2㎜露出した低熱量バージョンも使用することが可能
※2 別途、ユーザ要望に応じて、プローブ長の選択が可能

 専用プローブ寸法 

3mm Ultra Probe:

3mm Ultra Probe

3mm Super Probe:

3mm Super Probe

1mm Ultra Probe:

1mm Ultra Probe

1mm Super Probe:

1mm Super Probe



<OptoTemp2000コントローラ仕様>

表2 OptoTemp2000コントローラ仕様

チャンネル 4チャンネルまで
応答時間 250msec.
サンプリングレート 4samples/sec
電源 90-260 VAC, 50-60Hz
5W @7.5VDC
インターフェイス RS 232 (4-20 mA optional)
ディスプレイ LCDバックライト
サイズ 17(L) x 7(W) x 3(H) cm
ハウジング 陽極酸化アルミ


<その他>



<光ファイバー式温度計関連商品>



光ファイバー式温度計 OptoTemp2000のお問い合わせ

光ファイバー式温度計 OptoTemp2000および関連製品についてのお問い合わせ・デモ機でのご評価等の
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TEL:03-3492-7422/FAX:03-3492-2580

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