光ファイバー式温度計 OptoTemp2000

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MicroMaterials社製光ファイバー式温度計

光ファイバー式温度計 OptoTemp2000
図1 光ファイバー式温度計 OptoTemp2000本体

高周波、高電圧環境下での困難な温度測定に!

MicroMaterials社製「光ファイバー式温度計 OptoTemp 2000」は、マイクロ波/高周波/プラズマなどの過酷な環境においても光ファイバーの特性(蛍光体の強度減衰時間-温度の相関)を活かし、高精度な温度測定が可能です。
また、測定ニーズに応じて、3タイプのプローブから選択が可能で、1000℃の超高温測定にも対応しております。

光ファイバー式温度計の特長
  • EMI(電磁妨害/干渉)、RF、マイクロ波の影響を受けない
  • 1000℃の超高温測定に対応
  • 高精度測定を実現
  • ULTRAプローブは、1体構造である単結晶構造により、半永久的に使用が可能
  • 専用ソフトウエアで温度トレンドの確認が容易
  • 低価格

アプリケーション

マイクロ波/RF加熱分野 木材、セラミック、プラスチックなどの加熱/乾燥の温度測定/モニター
半導体分野 CVD工程、化合物半導体エピタキシャル成長などの各プロセスでの温度測定
高電圧分野 高電圧環境(発電所、発電設備)における温度測定
その他 食品、医療、環境などの分野における温度測定/モニター

OptoTemp2000基本構成

基本構成

測定画像(付属ソフト)
図2 測定画像(付属ソフト)

  • プローブ
  • 光ファイバーパッチコード
  • 光ファイバーマッチングスリーブ
  • OptoTemp2000 コントローラ
  • 電源アダプタ
  • 専用ソフトウエア
  • PC接続ケーブル(RS-232)

OptoTemp2000 システム一式
図3 OptoTemp2000 システム一式

各プローブ画像
図4 各プローブ画像

光ファイバー式温度計 測定原理

測定原理
図4 測定原理フロー

光ファイバー式温度計 OptoTemp2000は、蛍光体の強度(輝度)が温度に応じて変化するのを利用し、温度測定しております。

  • ①LED光は、45度の傾斜ミラーを経由し入射します。
  • ②光はレンズで集束され、光ファイバーのパッチコード内を通ります。
  • ③・④光は、プローブの先端に達し、蛍光体に光を発します。
  • ⑤・⑥蛍光の減衰は光センサで計測されます。蛍光の減衰時間は、温度と相関性があり、温度換算され算出されます。

専用プローブ

表1 専用プローブ仕様

型式 FLEX SUPER ULTRA
温度測定範囲 15~230℃ 15~400℃ 150~1000℃
コネクタタイプ ST ST SMA
直径 2mm 3mm,1mm 3mm,1mm
プローブ長 15cm ※1,2 15cm ※1,2 15cm ※1,2
外皮 PFA ceramic ceramic
精度 ±0.5℃ ※3 ±1.0℃ ※3 ±2.0℃ ※3
確度
(8サンプル繰返し測定時)
±0.5℃ ±0.5℃ ±1.0℃

※1 別途、ユーザ要望に応じて、プローブ長の選択が可能です。
※2 光ファイバーパッチコード長は、標準2mです。ユーザー要望に応じて、同コード長の選択も可能です。
※3 コントローラ側を考慮すると精度は±2.0℃です。
※4 FLEX、SUPERはカスタムオーダにより、-10℃まで対応可能なタイプとして供給することも可能です。

専用プローブ寸法

専用プローブ寸法

※各プローブ寸法は標準タイプです。

OptoTemp2000コントローラー仕様

表2 OptoTemp2000コントローラー仕様

チャンネル 4チャンネルまで
応答時間 250msec
サンプリングレート 4samples/sec
電源 90-260 VAC, 50-60Hz
5W @7.5VDC
インターフェイス RS 232(4-20 mA optional)
ディスプレイ LCDバックライト
サイズ 17(L)×7(W)×3(H)cm
ハウジング 陽極酸化アルミ

光ファイバー式温度計のお問合わせ

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電子材料・機器グループ
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