MEMSウェハ接合装置はウェハの位置合わせから、ウェハボンディングプロセスまでの全ての工程を1チャンバーで行なえます。
MEMSデバイス、電子デバイスの開発、少量ロットの製造サポートウェハ－接合、CMP、ビーズブラスト。
ガラス基板及び各種構造基板は、半導体・MEMS・ＬＥＤなど幅広い分野で活躍致します。
OPTIZEN MINI」は、半導体・太陽電池・医療・バイオ分野の各材質の定性・定量評価をラボ・現場などで簡単に行うことができるポータブル光度計です。
ナノマニュピレーターとは、人の手に代わりにミクロン、ナノサイズの世界で作業を行なうロボットのことです。
