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X線装置
マイクロフォーカスX線透視・CT検査装置
高解像度・超簡単操作!
カタログ値では無く、実力値をお試しください。
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エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業です。
X線装置メーカーとしては、フィリップス時代から数えると、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線装置の販売・メンテナンスについての総代理店契約が成立しました。
YXLON社製マイクロフォーカスX線透視検査装置は、世界最高クラスの解像度とユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備えた、ベストなX線透視検査装置と自負しています。
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Y.Cougar クーガーシリーズ
<特長&装置性能>
コンパクトで多機能!
2次元、3次元の検査が可能な装置です。
- 高速かつ高画質な検査結果
- Y.QuickScan®
超高速μCTソリューション
- 簡単操作
- 110cm×110cmの低フットプリント
- ディレクター:±70°へ傾斜、Z方向
- チューブの垂直方向への稼働
- 解像度 <1.0μm
- 出力管電圧 25~160Kv
- 出力管電流 0.01~1.0mA
- 最大X線管出力 64W
- 最大ターゲット出力 10W
- 総合最大倍率 10,000倍
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◆銅ワイヤ検査:増倍管型ディテクターの1/10の撮影時間
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面倒な銅線画像撮影が、金線と同じくらい早く簡単に撮影できます。 |
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◆LED検査:チップ接合面の画像も従来の4倍の速度で撮影可能
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撮影の速度が速いことは当たり前です。
更に、接合面のボイドの検出、ボイドの面積を計算し、良否判定を行うことも可能です。
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◆BGA検査:BGAボイドの自動検出、不良の自動検出が可能
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周辺のBGAの画像情報から、自動的に半田の不良を検出します。
もちろん、FPDを使用した画像は歪みが無く、オンタイムで画像の確認ができます
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デジタルフラットパネルディテクター
本技術により、低ノイズで高品質な画像を得られ、画像修正に要する時間を大幅に削減できることになりました。
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フラットパネルディテクター
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増倍管を使用したイメージ
フラットパネルでの撮影では、周囲のゆがみが発生しない

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オープンチューブ構造により、メンテナンス時のチューブ交換作業が不要となりました。
この構造は、最も劣化するフィラメントのメンテナンスにチューブを交換する必要が無く、フィラメントの差し替えにより、チューブ取り外しによる位置調整が不要となり、チューブは半永久的に使用可能となります。メンテナンスが容易でチューブ交換費用が削減できます。
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オープンチューブデザイン

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<Y.Cougar SMT-技術資料>

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装置の特長 |
| 画像取得までの時間 |
~10s |
| 再構成時間(typ.) |
<60s |
| uCTスキャン時間 |
8s |
| uCT再構成時間 |
~90s |
| イメージ取得 |
フラットパネルディテクター |
| CNC画像制御システム |
可能 |
| センサーとX線管の上下動 |
可能 |
| 傾斜角 |
±70° |
| X線チューブ |
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イメージチェーン |
| チューブタイプ |
オープンマイクロフォーカス |
ディテクタータイプ |
Panel 1313 High Speed |
| ターゲット |
透過型 |
ピクセル数 |
1,004×1,004pixel |
| ターゲット素材 |
タングステン |
ピクセルサイズ |
127um |
| 出力管電圧 |
25-160kV |
視野角 |
102mm×102mm |
| 出力管電流 |
0.01-1.0mA |
幾何学的倍率(max) |
2,000x |
| 最大X線管出力 |
64W |
最大倍率(max) |
3,940x |
| 最大ターゲット出力 |
10W |
フレーム率(max)30fps |
30fps |
| 認識解像度 |
<1um |
- |
| X線輝度調整 |
TXI
(Tru X-ray Intensity) |
マニュピレーター |
| X線チューブオプション |
マニュピレーター&
コントローラー |
マウス&
ジョイスティック |
| チューブタイプ |
MFT
(Open Multifocus Tube) |
検査領域(max) |
310mm×310mm
(12"×12") |
| 認識解像度 |
<500nm |
サンプルサイズ(max) |
440mm×550mm
(17"×21") |
| - |
サンプルトレイ可動 |
X,Y |
| 装置寸法 |
チューブ可動 |
Zt,200mm |
| 横幅/奥行/高さ(mm) |
~1,100/1,100/2,100 |
ディテクター可動 |
Zd,250mm |
| 重量 |
~1,450kg |
傾斜角 |
+/-70°(140°) |
| 電源仕様 |
CNC画像制御システム |
可能 |
| 電源 |
単相400VAC±10%
50/60Hz 10A
(単相200VAC+10% 20A) |
その他オプション |
| ヒューズ |
3×16A |
回転テーブル |
360°(直径210mm) |
| 消費電力 |
P=2.5kVA max |
CTモジュール |
360°/60°(no CNC) |
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X線検査装置のお問い合わせ
X線検査装置についてのお問い合わせは、
下記担当者までお気軽にお問い合わせ下さい。
事業開発担当
TEL:03-3492-7422/FAX:03-3492-2580
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