ダイレクト温調式 高温・低温検査用装置

テクノアルファ

ダイレクト温調式 高温・低温検査用装置 PEREX-1

ー ペルチェ温調×高荷重対応×計測自動化 ー

ダイレクト温調式 高温・低温検査用装置

製品概要

本装置は、ペルチェ素子を用いた温度制御ユニットを搭載し、対象デバイス（半導体チップ、モジュール、パッケージ等）に直接接触して加熱・冷却を行う検査用搬送装置です。
独自の加圧機構により、最大200kgの荷重をかけながら、精密かつ高速な温度変化を与えることができ、特性評価・信頼性試験・スクリーニングに最適です。
また、測定ソフトから全自動搬送などのカスタマイズも対応可能で、DUTユニットを個数設けて連続的に検査可能です。測定ソフトのカスタマイズも対応可能で、装置と一体でご提供いたします。

主な特長・機能

高性能ペルチェ温調ヘッド
  • 熱応答性が高く、加熱・冷却の切り替えが高速
  • デバイスへの直接接触による高効率な熱伝達
  • 水冷式により連続運転時の安全性も確保
荷重加圧機構（最大200kg）
  • 測定対象にしっかりとした熱伝導圧を確保
  • デバイスやモジュールの熱膨張・反りの影響を提言
  • 多ピン化にも対応

多様なデバイスに対応
対象例：
  • 熱応答性が高く、加熱・冷却の切り替えが高速
  • デバイスへの直接接触による高効率な熱伝達
  • 水冷式により連続運転時の安全性も確保
試験目的：
  • 高温/低温時の特性評価
  • 温度サイクル試験
  • 製品スクリーニング・故障解析

搬送と専用測定・制御ソフトウェアと一元化
  • 測定ソフトのプロがカスタムソフトを提供（弊社SIチーム：https://www.peritec.co.jp/）
  • 温度制御・加圧制御・タイミング制御を一元化
  • ユーザーインターフェースはグラフィカルで直観的操作が可能
  • 記録機能、データ出力（CSV,Excelなど）
  • 外部機器（電源、DMM、オシロ等）との連携可能

自動搬送・複数のDUT対応・ローダー/アンローダー装置対応（オプション）
  • 高スループット試験に最適
  • ローダー・アンローダー・XYステージなど構成は柔軟に対応
  • 試験プロセスの自動化・省人化にも対応可

主な使用例（応用事例）

用途 内容
パワーデバイスの信頼性評価 高温/低温環境での電気特性測定
通信モジュールの温度スクリーニング 大量精算時の良否選別試験
MEMSセンサーの温度特性検査 温度依存性のバラつき評価
LEDモジュールの点灯試験 熱暴走や光量変化の確認

カスタム対応も可能

  • 要望に合わせて完全自動化装置製作
  • 複数デバイス同時測定構成
  • カスタマイズ計測ソフトウェア対応
  • 工場での上位通信対応

技術仕様（一例）

項目 内容
温度制御範囲 −60℃～+150℃（※ヘッド仕様による）
温度精度 ±0.5℃以上（条件による）
荷重設定範囲 ～200kg
対応サイズ カスタム可
電源 AC100V/200V（装置構成による）

お問い合わせ

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