超高感度リアルタイムモニタリング装置のご案内

化学汚染物質 超高感度リアルタイムモニタリング装置　Vocus CI-TOFMS

TOFWERK社製Vocus CI-TOFMS（化学イオン化飛行時間型質量分析計）は化学汚染物質を超高感度リアルタイムモニタリングを可能とするソリューションを提供します。大気中、工場敷地内、各種工業製品、原材料などから拡散する揮発性有機化合物（VOC）あるいは有機フッ素化合物（PFAS）を前処理なしで直接サンプリング・分析・定量することができます。さらには半導体製造現場などで問題となる大気中分子汚染物質（AMC）の超高速・高感度モニタリングを1台の装置で実現することができます。

超高速分析

大気（気体/気相）を直接サンプリングすることで、クロマトグラフィーを使用せずに複雑な混合物中の揮発性有機・無機化合物（VOC・VIC）をリアルタイムで定量・特性評価・レポートすることができます。

圧倒的パフォーマンス

Vocusは様々な種類の化合物に対してpptレベルの検出限界を実現しています。

ユビキタス

ラボでのパフォーマンスを、どの場所でも実現することができます。堅牢でコンパクトなデザインは装置をサンプルがある場所に設置できin-situ・オペランド分析を可能としています。

リアルタイムモニタリング

TOFWERK社とは

TOFWERK社はスイス・トゥーンに開発・拠点を置く2002年に設立されたTOFMS（飛行時間型質量分析計）専門のメーカーです。このTOFMSをベースとして世界中の研究者と産業界のお客様をサポートするために革新的なソリューションを提供しています。

Vocusシリーズ

Vocus PTR Series

Vocus EigerおよびElfはリアルタイム微量VOCモニタリングおよびスクリーニング用のコンパクトで経済的な質量分析計です。

Vocus CI-TOF Series

気相および粒子相中の微量VOCおよびVICをリアルタイムで測定するための交換可能なリアクターを備えた高分解能質量分析計です。

Vocus B Series

あらゆる化合物クラスの測定に１台の装置で対応することができる、ミリ秒単位のリージェントイオンスイッチング機能を備えたパイポーラ質量分析計です。

機能

研究者や産業界のニーズに応える包括的ツールボックス。

リアルタイム測定

揮発性有機化合物および無機化合物（VOC/VIC）の濃度をリアルタイムでレポートすることができます。

交換可能なリアクター（イオン源）

PTRとAimリアクターを交換することで、検出可能な化合物の範囲と多様性が増大します。 複数のリアクターを追加することで、研究や測定目的に合わせて機器を拡張、研究の方向性の変化に応じてアップグレードすることができます。

高速極性スイッチング

ミリ秒単位の極性スイッチングにより１台のコンパクトな装置でポジティブ・ネガティブ両イオンの化学反応が可能となります。高速リージェントスイッチングとの組み合わせにより利便性がさらに高まります。

高質量分解能

アイソバーを分離測定することで複雑な混合物を確実に測定することができます。

高速リージェントイオンスイッチング

リージェントイオンの切替により、一つのリアクターで様々なリージェントイオンを使用しリアルタイムモニタリングを可能としています。スイッチングのタイムスケールはAimリアクターの場合、50～100msec、PTRの場合は10secです。

高効率インターフェース

最高効率でイオンをリアクターからTOF分析部に導入することで感度を大幅に向上することに成功しています。

VUVリージェントイオン源

Aimリアクターは各種リージェントイオンを生成する高輝度で安全・堅牢なイオン源です。

リアクター

PTRリアクター

PTR (プロトン移動反応)リアクターは広範囲の揮発性有機化合物（VOC）を分析するための強力なツールです。独自のVocusPTRリアクターは壁面損失を軽減し、RF（高周波）電場によりイオンを収束させ超高感度と低検出限界を実現しています。VocusPTRリアクターはアンモニウム付加イオン化など、他のリージェントイオンスキームとの互換性があり、より広範囲の化合物をターゲットにすることができます。

Aimリアクター

VocusAimリアクターは全範囲にわたる揮発性有機化合物および揮発性無機化合物の超高速・高感度検出が可能です。フローチューブリアクターはサンプルイオンのフラグメンテーション（断片化）を抑制するため高圧力で動作、コンパクトなVUVイオン源を使用し正・負両方のリージェントイオンを生成することができます。イオン化学を駆使し広範囲の化合物クラスを対象とした高感度かつ選択性の高いイオン化を可能としています。

検出の適合性

VocusCI-TOFMSは各リアクターと様々なリージェントイオンにより、特定の化合物クラスをターゲットにする場合、究極の柔軟性をお客様に提供することができます。

フラグメンテーション

VocusAimリアクターは揮発性化合物をターゲットにする際、フラグメンテーションを抑制することができます。

仕様

アプリケーション

測定アプリケーションの一例を紹介いたします。下記事例は資料としてダウンロード、閲覧が可能です。

• CI-TOFMSを用いた移動式屋内全自動測定
• 半導体AMCモニタリング用マニホールドサンプリングシステム
• クリティカルAMCクラスの超高速同時モニタリング
• クリーンルーム汚染モニタリング
• FOUPアウトガスの迅速モニタリング
• アプリケーションノート Vocus CI-TOFMSによる気相中PFASのリアルタイムモニタリング

その他

• クリーンテクノロジー2025年7月号に”Vocus CI-TOFMSリアルタイム化学イオン化飛行時間質量分析計”の記事掲載 クリーンテクノロジー2025年7月号に、TOFWERK社製飛行時間質量分析計Vocusの記事が掲載されております。内容は、“半導体製造におけるクリティカルなAMC（大気中分子状汚染物質）の超高速モニタリング”のタイトルに基づき、半導体製造プロセスにおける同装置の必要性、装置特徴やアプリケーションについて説明しております。
  日本工業出版クリーンテクノロジーサイト2025年7月号
• 2025年3月10日 13:00～18:00　サイエンスフォーラム「植物と化学の最前線」開催（参加無料） 神奈川大学（横浜キャンパス）で開催されるサイエンスフォーラム「植物と化学の最前線」にて横浜市立大学の関本先生よりTOFWERK社製Vocusを利用した揮発性植物分子の実験室内または森林生態系におけるリアルタイム計測に関する発表がございます（講演タイトル：揮発性植物分子は「いつ」「どこから」「どれだけ」放出されるのか？）。
  公式サイトはこちら
• 2024年4月11日 10:30～11:30　ウェビナー開催【終了】 リチウムイオンバッテリー超高速・高感度リークチェック
  CI-TOFMS（化学イオン化法飛行時間型質量分析計）によるバッテリー電解液のリアルタイムモニタリング
  バッテリー製造現場におけるハイスループットリークチェックソリューションの可能性をご紹介いたします。
• 2024年1月19日 10:30～11:30　ウェビナー開催 【終了】 TOEWERK社製の半導体製造施設に存在する空気中の汚染物質を高感度かつ迅速に検出するリアルタイムAMC・プロセスガスモニタリング装置の取り扱いを開始いたしました。半導体製造現場における歩留向上に寄与するTOFWERK社製の2種類のTOFMSをご紹介いたします。

カタログ/資料ダウンロード

超高感度リアルタイムモニタリング装置 Vocus CI-TOFMSのカタログ、その他資料を下記よりダウンロードいただけます。

超高感度リアルタイムモニタリング装置 カタログ

超高感度リアルタイムモニタリング装置関連製品

• リアルタイムプロセスガスモニタリング装置