装置開発の技術集団・チームＳＫＧ

チップマウンター/ダイボンダ/フリップチップボンダ

FALCON MULTI 8000X

ベースモデル「MULTI 7000X」にフレーム搬送機能を追加した搬送機付自動機ダイボンダ。

ピック＆プレイス用ヘッドの他にディスペンスorスタンピング用ヘッドを搭載した2ヘッド仕様。

デモ承ります
カタログ

特長

操作性／搬送機構

  • ローダーアンローダーによる搬送機構
  • プログラム設定によっては、微妙な位置合わせ等をオペレータが実施することも可能
  • ディスペンサー機能を搭載時、吐出を組み合わせた実装プログラムにも対応

荷重制御

  • VCM（ボイスコイルモーター）を使用したプログラム操作（Z軸分解能µｍ）による荷重制御で高度な荷重制御が要求されるアプリケーションに対応

ソフトウェア

  • マニュアル不要なユーザーインターフェースデザイン
  • 接合パラメーターや認識プログラム作成が簡単に設定可能なユーザーフレンドリー仕様

画像認識

  • プログラムで基板・チップを自動認識
  • 搭載オプションの仕様に合わせて塗布／チップ搭載検査、文字認識、ウェハマッピング機能が対応可能

豊富なオプションで幅広いアプリケーションに対応

マガジン搬送／ディスペンサー／スタンピングユニット／ウェハ突き上げ機構／ウェハマッピング機能／塗布検査機能／搭載検査機能／VCM機構／チップ反転機能／カスタマイズワークホルダー等お客様の仕様に合わせた様々なオプションに対応し、ダイアタッチ、リードフレーム、MEMS、MOEMS、光デバイス、VCSEL、ペースト接合、各種高精度部品搭載に対応

ダイボンディング搭載参考動画

FALCON MULTI 8000X動画①

FALCON MULTI 8000X動画②

主な仕様

部品搭載可能精度 5μ　※弊社規定ワーク参考値
実測誤差はお客様の製品、プロセスに依存します
Z軸搭載荷重 エアシリンダー式30g-500g
VCM機構：10g～300g　※選択可能。その他300g以上にも対応
X.Y.Z軸分解能 1μm
寸法 1640(W)x1230(D)x1600(H)
重量 約600kg
電源、ユーティリティ 200V、圧搾空気5-6bar、真空0.6bar
ボンディングパラメーター設定項目
  • ピック&プレイス
  • ディスペンス／スタンピング
  • ウェハ突き上げ
モード オートモード
画像認識機能
  • パターンマッチング
  • ウェハマッピング（オプション）
  • 搭載検査認識（オプション）
  • 塗布検査認識（オプション）