ワイヤボンディング外観測定検査装置
HC-AZ

TechnoAlpha

ワイヤボンド、その他の品質チェック

ウェッジボンド・ボールボンドの測定に

HC-AZはXYZ軸を持つ品質チェック用のワイヤボンディング外観測定検査装置です。 ウェッジ・ボールボンド潰れ幅のオート測定及びウェッジ・ボールボンドループ高さのセミオート測定が可能です。
※その他の測定についてもお客様のご要望によってオプションにて追加可能です。

HC-AZ 主な機能

潰れ幅オート測定機能

プログラムされた測定ポイントに自動で移動し、自動画像処理にて潰れ幅を測定します。 自動測定にて全ての測定を完了させる事も可能ですし、測定チェックを兼ねて作業者が測定結果を1つ1つ確認または全ての自動測定完了後に再度確認・修正する事も可能です。


潰れ幅オート測定機能ご紹介動画

潰れ幅オート測定機能

ループ高さセミオート測定機能

Z軸にリニアスケールを搭載し、プログラムされたループトップ位置に自動で移動し、トラックボールにてフォーカスを手動にて微調整して正確なループ高さを測定します。 測定顕微鏡を使用するよりも大幅な作業時間の短縮が可能です。


ループ高さセミオート測定機能ご紹介動画

ループ高さセミオート測定機能

統計・写真記録機能

測定結果・測定画像を日付ごとに記録する事が可能です。 不具合発生時の原因分析に効果を発揮します。

統計・写真記録機能

データ出力機能(CSV)

測定結果をCSVにて出力可能です。 データのまとめに役立ちます。

データ出力機能(CSV)

その他の測定項目にも対応

傷検査、チップ搭載位置測定・検査、異物検査。 また、自社開発の強みを生かしお客様のオリジナルの測定・検査にも対応可能です。

HC-AZ 導入のメリット

測定時間の短縮

外観測定検査装置 HC-AZをご使用頂く事により製品チェックに費やす時間を大幅に短縮する事が可能です。

例①:ウェッジボンド潰れ幅測定をHC-AZオート測定と測定顕微鏡を使用した手動測定の時間との比較

測定時間の短縮

  • 品種    ワークA
  • ワイヤ本数 29本
  • 測定箇所  58箇所

60%以上の時間短縮を実現

例②:ウェッジボンドループ測定をHC-AZセミオート測定と測定顕微鏡を使用した手動測定の時間との比較

測定時間の短縮②

  • 品種    ワークA
  • ワイヤ本数 29本
  • 測定箇所  29箇所

30%以上の時間短縮を実現

測定の安定化

HC-AZをご使用頂く事により測定誤差を大幅に少なくし、安定した測定を行う事が可能です。
潰れ幅測定は測定者による誤差、また同じ人が同じワークを測定した場合でも大きな測定差が生じます。 HC-AZは同じ条件にて測定を行いますので測定誤差が非常に少なくなり、安定した測定結果が得られます。

例①:ウェッジボンド幅をHC-AZオート測定と測定顕微鏡を使用した手動測定にて3回行った際の測定差の比較

HC-AZによる測定結果                単位:μm

HC-AZによる測定結果

HC-AZ 1回目 2回目 3回目
Wire1 406.774 406.910 406.808
Wire2 395.450 395.484 395.456
Wire3 396.679 396.816 396.790
Wire4 416.147 416.218 416.227
Wire5 410.112 410.196 410.252
Wire6 394.175 394.308 394.274
Wire7 389.789 389.840 389.787
Wire8 384.645 384.728 384.664
Wire9 402.465 402.465 402.483
Wire10 402.154 402.271 402.167

安定した測定を実現

作業者による手動測定結果           単位:μm

作業者による手動測定結果

作業者 1回目 2回目 3回目
Wire1 418.190 419.110 425.880
Wire2 409.140 405.070 412.620
Wire3 414.630 407.870 415.280
Wire4 426.950 433.970 428.530
Wire5 421.410 422.760 432.350
Wire6 412.170 408.220 416.380
Wire7 401.090 403.690 409.110
Wire8 393.610 394.720 400.920
Wire9 418.710 421.920 426.620
Wire10 418.390 419.100 424.330

HC-AZ 主な特長

ユーザーフレンドリーなインターフェース

外観測定検査装置 HC-AZはマップ機能の搭載により、自動測定中等もカメラ位置が容易に把握できます。 また、モニタに表示されるマップ上にカーソルを移動してのカメラ位置移動も可能です。

HC-AZによる測定結果

オートズーム機能搭載

オートズーム機能搭載により、レンズ交換無しで最大116倍までの細微な域まで正確な観察や測定が可能です。

  • 2×レンズ使用時  1.94~23.3倍
  • 5×レンズ使用時  4.80~58.30倍
  • 10×レンズ使用時 9.70~116.60倍
マルチ照明機能によりワークを詳細に観察可能

同軸照明と可動式リング照明の搭載によりワークを鮮明に映し出す事が可能です。

共通仕様

装置本体
装置寸法 624(W)×654(D)×757(H)
電源 100V
消費電力 900VA
重量 70kg
稼動範囲 300㎜(X)×300(Y)
動作精度 X軸=10μm Y軸=10μm
ワーク固定方式 ネジ留め・ワーク専用冶具製作
光学系
カメラ
  • 1/8”正画素型UXGAプログレッシブCCD
  • 総画素数:1688(H)×1248(V)
  • セルサイズ:4.40(H)×4.40(V)
レンズ倍率
  • 2×  1.94~23.3倍
  • 5×  4.80~58.30倍
  • 10× 9.70~116.60倍
制御関係
PC DELL OptiPlex9010
USB USB2.0×3
OS Windows7
プログラム方式 オリジナルGUI搭載

装置構成

装置構成
ワイヤボンディング外観測定検査装置 HC-AZ

ワイヤボンディング外観測定検査装置のお問合わせ

ワイヤボンディング外観測定検査装置および関連製品についてのお問い合わせ・デモ機でのご評価等のご用命は、下記担当者までお気軽にお問い合わせ下さい。

半導体装置グループ
TEL:03-3492-7472
FAX:03-3492-2580

お問合わせはこちら

コンタクトイメージ画像

製品案内


製造工程から探す