プラズマ装置/プラズマ表面処理
大気圧プラズマ処理装置
大気圧プラズマ処理装置
概要
diener社の大気圧プラズマ装置は、高圧エアーをガス源とするプラズマ装置です。ノズル内部の電極からノズル内を流れる空気に高電圧と高周波をかけることで、プラズマを発生させ、ノズルから照射します。大気圧プラズマ装置は真空チャンバーを使用せず、大気中でプラズマを発生させます。用途は接着性の改善やクリーニング（有機物の除去）などに使用されています。Diener社大気圧プラズマ装置は高熱のプラズマを使用するプロセスではないため、樹脂やガラスにも使用されます。
特長
- 100V電源と0.52MPa~0.8MPaの高圧エアーのみで、プラズマを照射することができます。
- エアーを利用したプラズマは、ランニングコストが安く、メンテナンスも簡単です。
- 工場ラインやロボットラインへ設置可能で、工場からのオンライン制御も可能です。
- 発信機も小型で、製造装置の内部に格納できます。
- 材料表面の有機物除去や、親水性の改善による接着性改善、密着性改善に効果があります。
対象製品
半導体/電子部品、プラスチック成形品、金属部品、ガラス部品
用途
各種表面洗浄、親水性改善、印刷密着性改善、油膜除去等
プラズマ照射：アークプラズマ
製品ラインナップ
実験用装置
| 型式 | Plasma Beam Mini |
|---|---|
| 筐体 |  |
| 装置寸法(㎜) | W270×H190×D320 |
| プラズマヘッド(㎜) | φ25×L220 |
| ノズルケーブル長さ | φ15×L220 |
| プラズマ周波数/出力 | 20KHz/80W |
| 処理幅 | 3-5㎜ |
| 制御方法 | スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
動画
大気圧プラズマ処理装置Plasma Beam Mini動画
汎用装置
| 型式 | Plasma Beam standard | Plasma Beam PC |
|---|---|---|
| 筐体 |  |
 |
| 装置寸法(㎜) | W540×H280×D450 | W540×H280×D450 |
| プラズマヘッド(㎜) | φ32×L210 | φ32×L210/1本 |
| ノズルケーブル長さ | φ19×L3000 | φ19×L3000/1本 |
| 供給ガス | ドライ、オイルフリーの圧搾エアー(0.52Mpa～0.8Mpa) | ドライ、オイルフリーの圧搾エアー(0.52Mpa～0.8Mpa) |
| プラズマ周波数/出力 | 20KHz/300W | 20KHz/300W/ノズル1本 |
| 処理幅 | 8-10㎜ | 8-10㎜/ノズル1本 |
| 制御方法 | スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
| 型式 | Plasma Beam DUO(ノズル2本) | Plasma Beam DUO PC(ノズル2本) |
|---|---|---|
| 筐体 |  |
 |
| 装置寸法(㎜) | W540×H280×D450 | W540×H280×D450 |
| プラズマヘッド(㎜) | φ32×L210 | φ32×L210/1本 |
| ノズルケーブル長さ | φ19×L3000 | φ19×L3000/1本 |
| 供給ガス | ドライ、オイルフリーの圧搾エアー(0.52Mpa～0.8Mpa) | ドライ、オイルフリーの圧搾エアー(0.52Mpa～0.8Mpa) |
| プラズマ周波数/出力 | 20KHz/300W | 20KHz/300W/ノズル1本 |
| 処理幅 | 8-10㎜ | 8-10㎜/ノズル1本 |
| 制御方法 | スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
| 型式 | Plasma Beam Quattro（ノズル4本） | Plasma Beam RT（回転ノズル2本） |
|---|---|---|
| 筐体 |  |
 |
| 装置寸法(㎜) | W560×H510×D600 | W540×H280×D450 |
| プラズマヘッド(㎜) | W34×H85×D207 | W184×H600×D192 |
| ノズルケーブル長さ | φ19×L3000/1本 | φ19×L3000/1本 |
| 供給ガス | ドライ、オイルフリーの圧搾エアー (0.52Mpa～0.8Mpa) |
ドライ、オイルフリーの圧搾エアー (0.52Mpa～0.8Mpa) |
| プラズマ周波数/出力 | 20KHz/300W/ノズル1本 | 20KHz/300W/ノズル1本 |
| 処理幅 | 32-40㎜ | 120㎜ |
| 制御方法 | スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
動画
大気圧プラズマ処理装置 Plasma Beam動画
大気圧プラズマ処理装置 Plasma Beam RT動画
コロナプラズマ装置
特長
- プラズマヘッド先端から幅約5cmのプラズマを照射する装置です。
- コロナプラズマ照射装置です。
- 内蔵のコンプレッサーを使用するため、エアーの供給は不要です。
- インラインへの設置やロボットへの取り付けも可能です。
対象製品
プラスチック、ガラスなどの絶縁物素材
用途
親水化、表面洗浄
プラズマ照射：コロナプラズマ
| 型式 | APC500 | APC500 DUO |
|---|---|---|
| 筐体 | 
|
|
| 装置寸法(㎜) | W540×H280×D450 | W540×H280×D450 |
| プラズマヘッド(㎜) | W60×L180×T40 | W60×L180×T40 |
| ノズルケーブル長さ | φ19×L3000 | φ19×L3000/1本 |
| プラズマ周波数/出力 | 40KHz/500W | 40KHz/500W |
| 処理幅 | 50-60㎜ | 50-60㎜×2 |
| 制御方法 | スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
スイッチON/OFFによるマニュアル操作 またはPCリモートコントロール操作 |
動画
大気圧プラズマ搬送機
ノズル搬送ユニットを一からご要望に合わせて作り上げることが可能です。フレーム内にプラズマ装置とノズル搬送装置を格納することで、ユニットごと移動させることが可能となります。例えば使用しない時間帯にユニットを移動させ、別製品の実験に使用することが可能です。
ノズル搬送ユニットを採用することで、下記の様な処理が行えるようになります。
- X軸、Y軸、Z軸の各軸のノズル搬送スピードや距離の調整によって、流れを止めずに製品をプラズマ処理。
- 製品を載せたテーブルをノズルの場所に移動させ、テーブルを回転させて外周をプラズマ処理。
- 製品が定位置に来た時にセンサーで感知させ、ノズル待機場所から製品の場所まで移動させて指定の回数プラズマ処理。
| 構成ユニット(例) | |
| 1 | 熱排気フード |
| 2 | プラズマヘッド |
| 3 | 熱排気配管 |
| 4 | Y軸移載 |
| 5 | Z軸移載 |
| 6 | X軸手動メカ調整(フレーム部調整) |
| 7 | プラズマ逃げ用X軸シリンダ(30㎜) |
| 8 | 製品検知センサ |
※プラズマ装置の出力は固定のため、ノズル移動速度やサンプルとの距離、照射回数等でパラメーターを調整します。
カタログダウンロード
Diener社製プラズマ装置のカタログを下記よりダウンロードいただけます。
プラズマ装置/プラズマ表面処理関連ページ
プラズマ装置/プラズマ表面処理関連
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