X線検査装置
（マルチフォーカスX線透過・CTシステム）
YXLON社製X線検査装置
エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
エレクトロニクス業界では半導体、電子部品などの微細化に伴い、高分解能での非破壊検査・解析能力がX線透視、X線CTに求められています。一方、車載分野を中心に機電一体モジュールの普及に伴い、高出力かつ高分解能のX線検査装置が求められるようになっています。
YXLON社製X線検査装置は、上記ニーズを踏まえた装置開発により世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、様々なエレクトロニクス業界のアプリケーションに対応できるX線透視・CT装置を提供しています。
X線検査装置シリーズ
Cougar EVO/Cheetah EVOは、透視観察においてナノ・マイクロ・ハイパワーモードと用途によって切替可能なマルチで高品質な撮影モードと、ティーチングによる自動検査モード、電子部品向けmicroCT（直交CT機能）、実装基板向けmicro3D（斜めCT機能）、リフローシミュレータオプション（Cheetah専用オプション）と幅広い用途に活躍できるマルチフォーカスX線透視・CT装置です。
Cougar EVO
- 次世代のCTと自動検査
- micro3Dsliceによるクラス最高のラミノグラフィーによりマイクロセクショニングに比べ大幅なコスト削減
- ワークフローを改善したFF CTソフトウェア
- お客様の仕様に合わせて最適化
- 繊細な部品のためのドージングモード
- スモールフットプリント
特長
- 高感度型16ビット（65,536段調）フラットパネルディテクタによる抜群の表現力
- マイクロフォーカスイメージで電子部品や実装基板などの解析・検査用途で活躍
- 省スペースに適した1,100 x1,050mmフットプリント設計
- 直行CT/斜めCTオプション搭載可能
Cougar EVO 製品仕様
| サンプルサイズ | 440x550[mm]（17''x21''） |
|---|---|
| 装置寸法 | W1000xD1050xH2200[mm] |
| 装置重量 | 1,450kg |
| FeinFocus X線発生器 | マイクロフォーカス型FXT-160.50、もしくはマルチフォーカス型FXT-160.51よりセレクト 管電圧20-160kV |
| X線検出器Pixel数 | 1004x620px（Y.Panel 1308）,1004x1004px（Y.Panel 1313）,1276x1276px（ORYX 1616） |
| Pixelサイズ | 127µm2 |
| 階調 | 16bit |
| アングル観察 | ＋/-65°（130°） ※リファレンスドライブ時+/-70°（140°） |
| 最大検査エリア | 310×310[㎜]（12''×12''） |
| 3Dモード | 斜めCT（micro3D）,直交CT（microCT * Quick ＆ Qualityモードあり）※オプション |
Cheetah EVO
- 進化したCT（コンピュータ断層検査）と自動検査
- トップレベルの高感度・高階調を誇る大型フラットパネルディテクタ
- クラス最高の断層撮影を実現するmicro3Dslice（斜めCT機能）とFF CTソフトウェア
- X線被ばくにセンシティブな電子部品にも対応できる線量モード
- 高荷重サンプルに対応（20kgまで）
- 撮影ニーズに合わせた画像最適化が可能
特長
- 高感度型16ビット（65,536段調）フラットパネルディテクタによる抜群の表現力
- ナノフォーカスモード・マイクロフォーカスモード・ハイパワーモードとマルチ用途に対応可能な自社製X線管搭載
- 電子部品だけではなく、樹脂部品、ゴム部品、金属部品等様々な用途に有効
- 直行CT/斜めCTオプション搭載可能
- リフローシミュレーターオプション搭載可能
Cheetah EVO 製品仕様
| サンプルサイズ | 800x500[mm]（31''x19''） |
|---|---|
| 装置寸法 | W1650xD1400xH2050[mm] |
| 装置重量 | 2,200kg |
| FeinFocus X線発生器 | マイクロフォーカス型FXT-160.50、もしくはマルチフォーカス型FXT-160.51よりセレクト 管電圧20-160kV |
| X線検出器Pixel数 | 1004x620px（Y.Panel 1308）,1004x1004px（Y.Panel 1313）,1276x1276px（ORYX 1616） |
| Pixelサイズ | 127µm2 |
| 階調 | 16bit |
| アングル観察 | ＋/-65°（130°） ※リファレンスドライブ時+/-70°（140°） |
| 最大検査エリア | 460×410[㎜]（12''×12''） |
| 3Dモード | 斜めCT（micro3D）,直交CT（microCT * Quick ＆ Qualityモードあり）※オプション |
撮影例
TSV画像
10μm TSV
ワイヤ画像
Wire bonds in QFN
LED
LED module, Through & Blind hole failures
LED short circuit wire bonds
BGA検査
Voiding measurement of 15μm copper pillar
デジタルフラットパネルディテクター表現力
16ビット（65000階調）フラットパネルによる抜群の表現力
Easily visible die detail
lip-chip pin grid array, FCPGA
Flip chip bump area voiding
オプションシステム
リフローシミュレーター
- 加熱炉をX線検査装置内部に設置することでリフロー環境を実現
- ハンダが溶融する過程をリアルタイムで観察可能
- N2環境対応も可能
- 加熱環境設定は常温～380℃
※Cheetah EVO用オプションとなります
X線検査装置（マイクロフォーカスX線）関連製品
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