X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

YXLON

YXLON社製 X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

Y.Cougar内部

エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線検査装置の販売についての代理店契約が成立しました。YXLON社製X線検査装置(マイクロフォーカスX線)は、世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、オープンチューブ採用による、低メンテナンスコストの装置です。

特長
  • 16ビット(65000階調)フラットパネルによる抜群の表現力
  • マイクロフォーカスイメージで電子部品や実装基板などの解析・検査用途で活躍
  • CTオプション/斜めCTオプション/リフローシュミレータオプション
装置基本仕様
Cougar EVO Cheetah EVO
幾何学倍率 Max 2000倍 Max 3000倍
最小解像度 < 400nm < 300nm
出力管電圧 25~160Kv
出力管電流 0.01~1.0mA
最大X線管出力 64W
傾斜可動 ±65°傾斜(130°)

X線検査装置シリーズ

Cougar EVO 倍率:Max2000倍

X線検査装置 Cougar EVO

装置概要
横幅/奥行/高さ(mm) 1,100/1,050/2,200
重量 1,450kg
検査エリア 310㎜×310㎜
認識解像度 < 0.4μm
オプション 直行CT・斜めCT
Cheetah EVO 倍率:Max3000倍

X線検査装置 Cougar EVO

装置概要
横幅/奥行/高さ(mm) 1,650/1,400/2,050
重量 2,200kg
検査エリア 460㎜×410㎜
認識解像度 < 0.4μm
オプション 直行CT・斜めCT・リフローシュミレータ

撮影例

TSV画像

TSV画像
10μm TSV

ワイヤ画像

TSV画像
Wire bonds in QFN

LED

LED module
LED module, Through & Blind hole failures

LED short circuit wire bonds
LED short circuit wire bonds

BGA検査

BGA検査
Voiding measurement of 15μm copper pillar

デジタルフラットパネルディテクター表現力

16ビット(65000階調)フラットパネルによる抜群の表現力

デジタルフラットパネルディテクター表現力
Easily visible die detail

16ビット(65000階調)フラットパネルによる表現力
lip-chip pin grid array, FCPGA
Flip chip bump area voiding

その他の仕様

X線チューブ
チューブタイプ オープンマイクロフォーカス
ターゲット 透過型
ターゲット素材 タングステン
出力管電圧 25-160kV
出力管電流 0.01-1.0mA
最大X線管出力 64W
電源仕様
電源 単相400VAC±10% 50/60Hz 10A(単相200VAC±10% 20A)
ヒューズ 3×16A
消費電力 P=2.5kVA max
その他オプション
回転テーブル 360°(直径210mm)
CTモジュール 360°/60°(no CNC)

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