X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

YXLON

YXLON社製 X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

高画質リアル画像/幾何学倍率 2000倍・3000倍/最小分解能 400nm

＜新技術＞コニカルCT機能で、基板実装部品でもCT画像撮影可能

Y.Cougar内部

エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。
X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線検査装置の販売・メンテナンスについての総代理店契約が成立しました。
YXLON社製Ｘ線検査装置(マイクロフォーカスX線)は、世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、オープンチューブ採用による、低メンテナンスコストの装置です。

YXLON X線検査装置(マイクロフォーカスX線)シリーズ

特長＆装置性能

X線チューブ

高速かつ高画質な撮影
Y．QuickScan®
超高速μCTソリューション
コニカルCT(基板装着部品のCT)
幾何学倍率　Max 3000倍
ディテクタ可動：±70°傾斜、Z方向
チューブの垂直方向への稼働
最小解像度　＜ 400nm
出力管電圧　25～160Kv
出力管電流　0.01～1.0ｍA
最大Ｘ線管出力　64W
最大ターゲット出力　10W

X線検査装置 Y.Cougar
Y.Cougar(クーガー)
倍率：Max 2000倍

X線検査装置 Y.Cheetah
Y.Cheetah(チーター)
倍率：Max 3000倍

新技術

コニカルターゲットCT

基板装着のまま、120度の回転画像を使用し、CT画像を構築します。
YXLONの高画質X線撮影だから可能な技術です。

高画質X線撮影

アプリケーション例

10um TSVのボイドを撮影可能

10um TSVのボイドを撮影

銅ワイヤの画像撮影

10um TSVのボイドを撮影

LED検査

チップ接合面の画像も従来の4倍の速度で撮影可能

撮影の速度が速いことは当たり前です。
に、接合面のボイドの検出、ボイドの面積を計算し、良否判定を行うことも可能です。

BGA検査

BGAボイドの自動検出、不良の自動検出が可能

周辺のBGAの画像情報から、自動的に半田の不良を検出します。
もちろん、FPDを使用した画像は歪みが無く、オンタイムで画像の確認ができます。

オンタイムで画像の確認

デジタルフラットパネルディテクター

本技術により、低ノイズで高品質な画像を得られ、画像修正に要する時間を大幅に削減できることになりました。

フラットパネルディテクター

増倍管使用イメージ
増倍管を使用したイメージ
フラットパネルでの撮影では、周囲のゆがみが発生しない

X線チューブ

オープンチューブデザイン

オープンチューブ構造

オープンチューブ構造により、メンテナンス時のチューブ交換作業が不要となりました。
この構造は、最も劣化するフィラメントのメンテナンスにチューブを交換する必要が無く、フィラメントの差し替えにより、チューブ取り外しによる位置調整が不要となり、チューブは半永久的に使用可能となります。 メンテナンスが容易でチューブ交換費用が削減できます。

X線検査装置(マイクロフォーカスX線) Y.Cougar SMT-技術資料

X線検査装置(マイクロフォーカスX線)の特長

画像取得までの時間	～10s
再構成時間(typ.)	＜ 60s
uCTスキャン時間	8s
uCT再構成時間	～90s
イメージ取得	フラットパネルディテクター
CNC画像制御システム	可能
センサーとX線管の上下動	可能
傾斜角	±70°

X線チューブ

チューブタイプ	オープンマイクロフォーカス
ターゲット	透過型
ターゲット素材	タングステン
出力管電圧	25-160kV
出力管電流	0.01-1.0mA
最大X線管出力	64W
最大ターゲット出力	10W
認識解像度	＜ 1um
X線輝度調整	TXI(Tru X-ray Intensity)

X線チューブオプション

チューブタイプ	MFT(Open Multifocus Tube)
認識解像度	＜ 500nm

装置寸法

横幅 / 奥行 / 高さ(mm)	～1,100 / 1,100 / 2,100
重量	～1,450kg

電源仕様

電源	単相400VAC±10％　50/60Hz　10A(単相200VAC±10％ 20A)
ヒューズ	3×16A
消費電力	P=2.5kVA max

イメージチェーン

ディテクタータイプ	Panel 1313 High Speed
ピクセル数	1,004×1,004pixel
ピクセルサイズ	127um
視野角	102mm×102mm
幾何学的倍率(max)	2,000x
最大倍率(max)	3,940x
フレーム率(max)30fps	30fps

マニピュレーター

マニピュレーター＆コントローラー	マウス＆ジョイスティック
検査領域(max)	310mm×310mm(12"×12")
サンプルサイズ(max)	440mm×550mm(17"×21")
サンプルトレイ可動	X,Y
チューブ可動)	Zt,200mm
ディデクター可動	Zd,250mm
傾斜角	+/-70°(140°)
CNC画像制御システム	可能

その他オプション

回転テーブル	360°(直径210ｍｍ)
CTモジュール	360°/60°(no CNC)

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