X線検査装置（マイクロフォーカスX線）
YXLON社製 X線検査装置（マイクロフォーカスX線）
エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線検査装置の販売についての代理店契約が成立しました。YXLON社製X線検査装置（マイクロフォーカスX線）は、世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、オープンチューブ採用による、低メンテナンスコストの装置です。
特長
- 16ビット（65000階調）フラットパネルによる抜群の表現力
- マイクロフォーカスイメージで電子部品や実装基板などの解析・検査用途で活躍
- ＣＴオプション/斜めＣＴオプション/リフローシュミレータオプション
装置基本仕様
| Cougar EVO | Cheetah EVO | |
| 幾何学倍率 | Max 2000倍 | Max 3000倍 |
|---|---|---|
| 最小解像度 | ＜ 400nm | ＜ 300nm |
| 出力管電圧 | 25～160Kv | |
| 出力管電流 | 0.01～1.0mA | |
| 最大X線管出力 | 64W | |
| 傾斜可動 | ±65°傾斜（130°） | |
X線検査装置シリーズ
Cougar EVO 倍率：Max2000倍
装置概要
| 横幅/奥行/高さ（mm） | 1,100/1,050/2,200 |
|---|---|
| 重量 | 1,450kg |
| 検査エリア | 310㎜×310㎜ |
| 認識解像度 | ＜ 0.4μｍ |
| オプション | 直行CT・斜めCT |
Cheetah EVO 倍率：Max3000倍
装置概要
| 横幅/奥行/高さ（mm） | 1,650/1,400/2,050 |
|---|---|
| 重量 | 2,200kg |
| 検査エリア | 460㎜×410㎜ |
| 認識解像度 | ＜ 0.4μｍ |
| オプション | 直行CT・斜めCT・リフローシュミレータ |
撮影例
TSV画像
10μm TSV
ワイヤ画像
Wire bonds in QFN
LED
LED module, Through & Blind hole failures
LED short circuit wire bonds
BGA検査
Voiding measurement of 15μm copper pillar
デジタルフラットパネルディテクター表現力
16ビット（65000階調）フラットパネルによる抜群の表現力
Easily visible die detail
lip-chip pin grid array, FCPGA
Flip chip bump area voiding
その他の仕様
X線チューブ
| チューブタイプ | オープンマイクロフォーカス |
|---|---|
| ターゲット | 透過型 |
| ターゲット素材 | タングステン |
| 出力管電圧 | 25-160kV |
| 出力管電流 | 0.01-1.0mA |
| 最大X線管出力 | 64W |
電源仕様
| 電源 | 単相400VAC±10% 50/60Hz 10A（単相200VAC±10% 20A） |
|---|---|
| ヒューズ | 3×16A |
| 消費電力 | P=2.5kVA max |
その他オプション
| 回転テーブル | 360°（直径210mm） |
|---|---|
| CTモジュール | 360°/60°(no CNC) |
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