X線検査装置(マイクロフォーカスX線)
YXLON社製 X線検査装置(マイクロフォーカスX線)
エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線検査装置の販売についての代理店契約が成立しました。YXLON社製X線検査装置(マイクロフォーカスX線)は、世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、オープンチューブ採用による、低メンテナンスコストの装置です。
特長
- 16ビット(65000階調)フラットパネルによる抜群の表現力
- マイクロフォーカスイメージで電子部品や実装基板などの解析・検査用途で活躍
- CTオプション/斜めCTオプション/リフローシュミレータオプション
装置基本仕様
Cougar EVO | Cheetah EVO | |
幾何学倍率 | Max 2000倍 | Max 3000倍 |
---|---|---|
最小解像度 | < 400nm | < 300nm |
出力管電圧 | 25~160Kv | |
出力管電流 | 0.01~1.0mA | |
最大X線管出力 | 64W | |
傾斜可動 | ±65°傾斜(130°) |
X線検査装置シリーズ
Cougar EVO 倍率:Max2000倍
装置概要
横幅/奥行/高さ(mm) | 1,100/1,050/2,200 |
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重量 | 1,450kg |
検査エリア | 310㎜×310㎜ |
認識解像度 | < 0.4μm |
オプション | 直行CT・斜めCT |
Cheetah EVO 倍率:Max3000倍
装置概要
横幅/奥行/高さ(mm) | 1,650/1,400/2,050 |
---|---|
重量 | 2,200kg |
検査エリア | 460㎜×410㎜ |
認識解像度 | < 0.4μm |
オプション | 直行CT・斜めCT・リフローシュミレータ |
撮影例
TSV画像
10μm TSV
ワイヤ画像
Wire bonds in QFN
LED
LED module, Through & Blind hole failures
LED short circuit wire bonds
BGA検査
Voiding measurement of 15μm copper pillar
デジタルフラットパネルディテクター表現力
16ビット(65000階調)フラットパネルによる抜群の表現力
Easily visible die detail
lip-chip pin grid array, FCPGA
Flip chip bump area voiding
その他の仕様
X線チューブ
チューブタイプ | オープンマイクロフォーカス |
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ターゲット | 透過型 |
ターゲット素材 | タングステン |
出力管電圧 | 25-160kV |
出力管電流 | 0.01-1.0mA |
最大X線管出力 | 64W |
電源仕様
電源 | 単相400VAC±10% 50/60Hz 10A(単相200VAC±10% 20A) |
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ヒューズ | 3×16A |
消費電力 | P=2.5kVA max |
その他オプション
回転テーブル | 360°(直径210mm) |
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CTモジュール | 360°/60°(no CNC) |
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