X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

YXLON

YXLON社製 X線検査装置(マイクロフォーカスX線)

高画質リアル画像/幾何学倍率 2000倍・3000倍/最小分解能 400nm
<新技術>コニカルCT機能で、基板実装部品でもCT画像撮影可能

Y.Cougar内部

エクスロン・インターナショナルは、フィリップス社から1998年分離独立した企業で、日本ではフェインフォーカスとしてご記憶の方もいらっしゃるかと思います。
X線検査装置メーカーとしては、80年以上の経験を有しており、常に世界のX線検査装置をリードしてきました。
この度、弊社とエクスロン社との間で、電気電子産業分野、半導体産業分野について、マイクロフォーカスX線検査装置の販売・メンテナンスについての総代理店契約が成立しました。
YXLON社製X線検査装置(マイクロフォーカスX線)は、世界最高クラスの解像度と、ユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備え、オープンチューブ採用による、低メンテナンスコストの装置です。

YXLON X線検査装置(マイクロフォーカスX線)シリーズ

特長&装置性能

X線チューブ

  • 高速かつ高画質な撮影
  • Y.QuickScan®
    超高速μCTソリューション
  • コニカルCT(基板装着部品のCT)
  • 幾何学倍率 Max 3000倍
  • ディテクタ可動:±70°傾斜、Z方向
  • チューブの垂直方向への稼働
  • 最小解像度 < 400nm
  • 出力管電圧 25~160Kv
  • 出力管電流 0.01~1.0mA
  • 最大X線管出力 64W
  • 最大ターゲット出力 10W

X線検査装置 Y.Cougar
Y.Cougar(クーガー)
倍率:Max 2000倍

X線検査装置 Y.Cheetah
Y.Cheetah(チーター)
倍率:Max 3000倍

新技術

コニカルターゲットCT

コニカルターゲットCT

基板装着のまま、120度の回転画像を使用し、CT画像を構築します。
YXLONの高画質X線撮影だから可能な技術です。

高画質X線撮影

アプリケーション例

10um TSVのボイドを撮影可能

10um TSVのボイドを撮影

銅ワイヤの画像撮影

10um TSVのボイドを撮影

LED検査

LED検査

チップ接合面の画像も従来の4倍の速度で撮影可能

撮影の速度が速いことは当たり前です。
に、接合面のボイドの検出、ボイドの面積を計算し、良否判定を行うことも可能です。

BGA検査

BGA検査

BGAボイドの自動検出、不良の自動検出が可能

周辺のBGAの画像情報から、自動的に半田の不良を検出します。
もちろん、FPDを使用した画像は歪みが無く、オンタイムで画像の確認ができます。

オンタイムで画像の確認

デジタルフラットパネルディテクター

本技術により、低ノイズで高品質な画像を得られ、画像修正に要する時間を大幅に削減できることになりました。

フラットパネルディテクター
フラットパネルディテクター

増倍管使用イメージ
増倍管を使用したイメージ
フラットパネルでの撮影では、周囲のゆがみが発生しない

X線チューブ

オープンチューブデザイン
オープンチューブデザイン

オープンチューブ構造

オープンチューブ構造により、メンテナンス時のチューブ交換作業が不要となりました。
この構造は、最も劣化するフィラメントのメンテナンスにチューブを交換する必要が無く、フィラメントの差し替えにより、チューブ取り外しによる位置調整が不要となり、チューブは半永久的に使用可能となります。 メンテナンスが容易でチューブ交換費用が削減できます。

X線検査装置(マイクロフォーカスX線) Y.Cougar SMT-技術資料

X線検査装置(マイクロフォーカスX線)の特長
画像取得までの時間 ~10s
再構成時間(typ.) < 60s
uCTスキャン時間 8s
uCT再構成時間 ~90s
イメージ取得 フラットパネルディテクター
CNC画像制御システム 可能
センサーとX線管の上下動 可能
傾斜角 ±70°
X線チューブ
チューブタイプ オープンマイクロフォーカス
ターゲット 透過型
ターゲット素材 タングステン
出力管電圧 25-160kV
出力管電流 0.01-1.0mA
最大X線管出力 64W
最大ターゲット出力 10W
認識解像度 < 1um
X線輝度調整 TXI(Tru X-ray Intensity)
X線チューブオプション
チューブタイプ MFT(Open Multifocus Tube)
認識解像度 < 500nm
装置寸法
横幅 / 奥行 / 高さ(mm) ~1,100 / 1,100 / 2,100
重量 ~1,450kg
電源仕様
   
電源 単相400VAC±10% 50/60Hz 10A(単相200VAC±10% 20A)
ヒューズ 3×16A
消費電力 P=2.5kVA max
イメージチェーン
ディテクタータイプ Panel 1313 High Speed
ピクセル数 1,004×1,004pixel
ピクセルサイズ 127um
視野角 102mm×102mm
幾何学的倍率(max) 2,000x
最大倍率(max) 3,940x
フレーム率(max)30fps 30fps
マニピュレーター
   
マニピュレーター&コントローラー マウス&ジョイスティック
検査領域(max) 310mm×310mm(12"×12")
サンプルサイズ(max) 440mm×550mm(17"×21")
サンプルトレイ可動 X,Y
チューブ可動) Zt,200mm
ディデクター可動 Zd,250mm
傾斜角 +/-70°(140°)
CNC画像制御システム 可能
その他オプション
回転テーブル 360°(直径210mm)
CTモジュール 360°/60°(no CNC)

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エレクトロニクスグループ(旧電子材料・機器グループ)
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