装置開発の技術集団・チームSKG

チップ高さ・上位通信機能付き・ウェハーマッピング処理機能

チップソーター

標準的なチップソーターだけではなく、特殊機能を要する装置も製作。

ダイボンダ装置で培ったピック&プレイス技術をベースに、ウエハーチップ上の素子(寸法:100μmx100μ、高さ20~30μm)の高さ形状をレーザー変位計で測定し、許容範囲内のチップのみをピックアップしてトレイに収納する装置などを、お客様のニーズに応じて製作致します。

チップサイズ1.0mmx1.00mm以上、上位通信、ウエハーマッピング機能にも対応。

特長

パフォーマンス

  • ウエハー上の微細な高さの測定が可能
  • ウエハーだけでなく、チップトレイにも対応
  • ウエハーマッピング対応
  • 上位通信対応

操作性・装置構成のフレキシビリティ

  • ユーザーフレンドリーな設定
  • 品種設定可
  • 特殊なワーク・マガジンにも対応

装置のカスタマイズが可能

  • ウエハー・チップ以外の微細な高さ測定にもカスタマイズ
  • チップソータ機能だけにも対応
  • インライン化も可能

メンテナンスと信頼性

  • メンテナンス性を考慮した設計
  • IOT機器搭載済みにより、不具合時に遠隔でのソフト修正が可能
  • 標準部品を多く採用し、不具合時の部品不足を解消

参考動画:チップ高さ測定機能付きチップソーター

チップ上の素子の高さを測定後、チップをピックアップしてトレイに収納します。
検査機能を有したチップソーターとなります。

参考仕様(一例)

装置構成
  • ローダ部:マガジン供給(ウエハーリング)
  • 測定・チップ収納部:ウエハー上のチップ高さを測定した後、チップをピックアップしてトレイに収納。
  • アンローダ部:マガジン収納(トレイ)
装置外形寸法 1700(W) x 1000(D) x 1600(H)
※シグナルタワーを除く
質量 750kg
供給エアー 0.4Mpa以上
電源 三相AC200V
オプション
  • レーザーでのセンサ高さ測定機能付き
  • ウエハーマッピング機能付き
  • 上位通信