チップ加圧装置

ステージ

• 温度プロファイル作成可能なパルスヒーター搭載
• XY軸微細位置調整用マイクロゲージ搭載

荷重制御

• モーターによるプログラム操作にて要求仕様に対応した荷重レンジでのプレスが可能応
• 荷重制御が要求されるアプリケーションに対応

タッチパネルモニター

• 各パラメーターのプログラムやプロセス状態が一目で分かるタッチパネルモニター仕様

ソフトウェア

• 加圧パラメーターと温度プロファイルのプログラム作成が簡単に設定できるユーザーフレンドリー仕様

オプション

高荷重プレスヘッド／VCM機構／ヒーターステージ／カスタマイズワークホルダー等お客様の仕様に合わせた様々なオプションに対応し、その他オプションについても仕様に応じ追加可能。